合適的濕度對于生物、人類生活和生產都是十分重要的。過高的濕度易使衣料、紙張、煙草、食品等霉壞變質；致使精密儀器失靈敏度降低，甚至因絕緣霉變而毀壞；機械、兵器、設備生銹，彈藥失效等。相反，空氣中濕度過低形成干燥環(huán)境也會使木材開裂、制品材質變脆、培養(yǎng)的細菌和其他微生物枯死等現象產生。所以科學的測量和控制濕度，對于工業(yè)生產、氣象、環(huán)保、醫(yī)療、食品工業(yè)、貨物儲存、國防等都有十分重要的意義。

在測量濕度這塊，早年有毛發(fā)濕度計、干濕球濕度計等，后來出現了采用電阻型濕度計，不過缺陷在于儀器靈敏度低，適用范圍受限，無法滿足現代科學技術發(fā)展的要求。而陶瓷濕敏傳感器的出現則很好的克服了這些問題，為現代濕度檢測和控制領域開拓了新的途徑。

按照所測環(huán)境濕度的不同，濕敏電阻大致可分為三大類：

1.高濕型。適于相對濕度（RH，Relative Humidity）大于70%的環(huán)境。其中的一個特例是結露傳感器，濕度達到100%

2.低濕型。適于RH小于40%的環(huán)境

3.全濕型。適于RH在0~100%的整個范圍。

濕敏陶瓷的特性指標主要有：

①靈敏度（濕敏性）。通常以相對濕度變化1%時阻值變化的百分率表示，寫為%/%RH。濕敏電阻要求較高的靈敏度，但過高的靈敏度會使儀表量程過窄，帶來不便。

②響應速率。響應速率是指環(huán)境變化后到元件阻值發(fā)生變化之間所需的時間，最快的不到1秒。最慢的可達數十分鐘。從使用要求上講，當然是越快越好。

③分辨率。分辨率與靈敏度和響應速率相關，用相對濕度的百分數表示。

④溫度特性。溫度特性是指溫度每變化1℃時，元件阻值的變化相當于多少“%RH”的變化。

1.陶瓷濕敏傳感器的構成

陶瓷濕敏傳感器由金屬氧化物陶瓷構成，分離子型和電子型兩類。

①離子型濕敏元件是由絕緣材料制成的多孔陶瓷元件。由于水分子在微孔中的物理吸附作用，在濕空氣中呈現H ，使元件的電導率增加，主要成分分兩種α-Fe2O3及K2CO3和ZnO.V2O5.LI2O。陶瓷濕度傳感器在低濕段電阻隨濕度阻值變化較大，在40%-80%RH范圍內，線性度比較好，高濕段則變化過小，可見陶瓷濕度傳感器在常濕狀態(tài)下具有較好的特性曲線，而在高濕段，低濕段曲線發(fā)生畸變，非線性比較明顯。陶瓷濕敏元件的感濕特性還受到溫度變化的影響，溫度補償對測量精度是重要的。

②電子型濕敏傳感器主要有氧化鋁、一氧化鎂合成陶瓷濕度傳感器元件電導率的增加和減少，利用分子在氧化物表面上的化學吸附作用而成，N型半導體，P型半導體氧化物反應出正濕度特性和負濕度特性。氧化鋁和一氧化鎂濕度傳感器，在700℃以下溫度下可以進行濕度測量而比較穩(wěn)定。但結構復雜，需要加熱光柵加熱至700℃，耗電大使用條件苛刻，價格昂貴，還要防止空氣流速變動所引的特性改變，不易在工業(yè)領域普及使用。

陶瓷濕敏傳感器是近年來大力發(fā)展的一種新型傳感器。優(yōu)點在于濕度滯后，吸附水蒸氣能力強且靈敏度高，物理化學性能穩(wěn)定；響應速度快；體積小，便于批量生產；可加熱清洗，有利于在惡劣環(huán)境下工作。但由于多孔型材質，對塵埃影響很大，日常維護頻繁，時常需要電加熱加以清洗易影響產品質量，易受濕度影響，在低濕高溫環(huán)境下線性度差，特別是使用壽命短，長期可靠性差，是此類濕度傳感器迫切解決的問題。

2.陶瓷濕敏傳感器的應用

陶瓷濕敏傳感器已廣泛應用于各類機具中，例如濕度計、空調器、增濕機、去濕機、微波爐等。其應用領域及用途可見表1所示。

表1.陶瓷濕敏傳感器的主要應用領域及用途